氦氣在氦質譜檢漏技術中的應用原理
氦氣在氦質譜檢漏技術中的應用原理
氦質譜檢漏儀用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質
譜儀。是一種應用于國內外的真空容器檢漏先進技術。與一般的檢漏技術
相比，氦質譜檢漏技術快速、準確、靈敏度高及無損傷性等優點。氦質譜
檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣，因為氦氣具有以
下特性：
譜儀。是一種應用于國內外的真空容器檢漏先進技術。與一般的檢漏技術
相比，氦質譜檢漏技術快速、準確、靈敏度高及無損傷性等優點。氦質譜
檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣，因為氦氣具有以
下特性：
1、氦氣在空氣中的含量較少，只占約二十萬分之一，易于發現；
2、氦分子小、質量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔；
3、氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；
4、氦氣是無毒、無味，對大氣么有污染。
5、氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷設備；
6、氦氣無毒，不凝結，難容于水。
正因為氦氣具有以上特性，所以氦氣檢漏應用已從科研院所到工業企業
乃至到個體企業，可以說應用領域比較寬廣。
乃至到個體企業，可以說應用領域比較寬廣。
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